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临时键合材料
临时键合材料

芸卓新材拥有完整的临时键合解决方案,可全面支撑 2.5D、3D、FOWLP、FOPLP 等先进封装制程,专注服务于5G、AI、HPC、IoT 等领域,助力大算力、高带宽存储芯片的规模化量产。

临时键合工艺流程
临时键合工艺流程
产品详情
产品类别产品产品介绍

临时键合材料

(Adhesive Layer)

2.5D CoWoS临时键合材料
针对 CoWoS 先进封装中的 TB1 与 TB2 工艺,提供优异支撑性、耐高温且易清洗的临时键合材料,可满足超薄晶圆加工及多芯片异构集成的临时键合需求。
3D HBM临时键合材料针对 HBM 存储芯片的3D堆叠,提供机械解键合及激光解键合材料方案,产品具备优异的键合TTV 性能,可有效支撑晶圆 BVR 与 TCB 制程。
Hybrid Bonding临时键合材料
针对3D封装混合键合工艺,提供具备优异 TTV 特性与高温稳定性的临时键合材料,可支撑超薄晶圆在高温环境下完成 Cu-Cu 键合。
FOWLP/FOPLP临时键合材料针对 Chip‑First HDFO 封装,提供高温高模量的临时键合材料,可满足晶圆级与板级的芯片贴装(Die Attach)需求。

激光释放材料

(Release Layer)

紫外激光释放材料
满足 308nm、355nm 激光解键合需求,提供兼具优异紫外吸收性能与耐化学腐蚀的激光释放材料,可适配各类先进封装制程。
绿光激光释放材料适配532nm绿光解键合工艺,提供具有优异可见光吸收性能的激光释放材料。

剥离液

(Stripper)

临时键合剥离液针对各类临时键合材料,芸卓新材提供配套剥离液,对UV膜、晶圆表面金属和PI绝缘介质等无腐蚀,且清洗效率高。

衬底材料

(Glass Carrier)

玻璃晶圆针对 HDFO、2.5D 等先进封装工艺,芸卓新材可提供多款不同 CTE 规格的玻璃材料,具备优异的尺寸加工精度与严格的颗粒、缺陷控制能力。


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