配套公司的临时键合材料,自主研发的临时键合材料清洗剂可通过浸泡溶解和二流体喷洗的方式有效去除解键合后晶圆上残留的临时键合材料,且对Ti、Al、Ni、Sn等金属以及塑封料等无腐蚀,聚酰亚胺、环氧、酚醛等树脂无溶胀。